電動(dòng)真空插板閥
技術(shù)參數(shù)
適用范圍（Pa）
10 5 ~1.3×10 -7
閥門漏率（Pa.L/S)
≤1.3×10 -7
閥門烘烤溫度（℃）
≤ 150（除傳動(dòng)裝置外）
開閥時(shí)閥板兩側(cè)壓力差（Pa）
≤3×10 3
電源壓力
AC220V/50Hz
開啟或關(guān)閉時(shí)間S
≤50
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